
我们提供覆盖半导体厂房全生命周期的厂务系统建立与服务,从系统设计、设备安装、管道敷设到系统联调,为您的核心制程提供稳定、可靠的动力与环境支持。具体涵盖以下8大核心模块:
高纯气体系统:一般气体及特殊气体的供应管路与实时监控系统建立,确保气体纯度和输送安全。
超纯水供应系统:全流程超纯水管路及终端设备建立,保障制程用水的高电阻率和极低杂质要求。
中央化学品系统:酸碱及有机化学品的中央供液系统建立,实现安全、自动化的化学品输送。
洁净室恒温恒湿系统:精密控制洁净室的温度与湿度,保障生产环境的绝对稳定。
环保处理系统:废水及废气的收集、处理与达标排放系统建立,确保环保合规。
电力与冷却系统:电力、照明及冷却水系统的精准配合与搭建,为产线提供强劲动力。
洁净隔间营缮:洁净隔间及相关配套系统的营缮与支援工作,打造完美洁净空间。
应急与监控系统:厂务监控系统建立,以及辅助事故应变的机动工作,最大限度降低产线风险。
全系统集成交付:将水、气、电、化、控、环境等8大系统高度集成,统一规划施工,彻底解决多分包商交叉施工的协调难题。
满足严苛行业标准:延续二次配工程的高标准,严格遵循FM Global、NFPA等国际标准,完美适配ISO 5级至ISO 8级洁净等级。
建运一体无缝衔接:与我们的设备内联管路、运维服务模块联动,实现从“规划设计”到“建设交付”再到“7×24小时应急运维”的全生命周期闭环服务。
半导体晶圆厂、封装测试厂
面板显示、光伏及微电子厂房的新建与扩建项目
需要极高厂务稳定性的大型高科技研发生产基地